동적 스캐닝 광학 시스템 광학: 1pc 소형 초점 렌즈, 1-2pcs 초점 렌즈, 갈보 미러. 전체 광학 렌즈는 빔 확장, 포커싱 및 빔 편향 및 스캐닝 기능을 형성합니다.
확장 부분은 네거티브 렌즈, 즉 빔 확장과 이동 줌을 구현하는 작은 초점 렌즈이며, 포커싱 렌즈는 포지티브 렌즈 그룹으로 구성됩니다. 갈보 거울은 검류계 시스템의 거울입니다.
(1) 렌즈 설계 최적화 : 직경 대 두께 비율의 최적 비율
(2) 렌즈 높은 손상 임계값:>30J/cm2 10ns
(3) 초저흡수 코팅, 흡수율:<20ppm
(4) 검류계 두께 대 직경 비율: 1:35
(5) 렌즈 표면 정확도:<= λ/5
대물렌즈 이후 렌즈
| 최대 입구 동공(mm) | 광학 1 직경(mm) | 광학 2 직경(mm) | 광학 3 직경(mm) | 스캔 필드 (mm) | 조리개 지우기 스캐너의 (mm) | 파장 |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
반사경 거울
| 부품 설명 | 직경(mm) | 두께(mm) | 재료 | 코팅 |
| 실리콘 반사경 | 25.4 | 3 | 규소 | HR@10.6um,AOI: 45° |
| 실리콘 반사경 | 30 | 4 | 규소 | HR@10.6um,AOI: 45° |
| 섬유 반사경 | 25.4 | 6.35 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
| 섬유 반사경 | 30 | 5 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
| 섬유 반사경 | 50 | 10 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
| 532 반사경 | 25.4 | 6 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 반사경 | 25.4 | 6.35 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 반사경 | 30 | 5 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 반사경 | 50 | 10 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 25.4 | 6 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 25.4 | 6.35 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 25.4 | 10 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 30 | 5 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
갈보 거울
| 부품 설명 | 최대 입구 동공(mm) | 재료 | 코팅 | 파장 |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 규소 | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 용융 실리카 | HR@532nm | 532nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 용융 실리카 | HR@355nm | 355nm |
보호렌즈
| 직경(mm) | 두께(mm) | 재료 | 코팅 |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
