동적 스캐닝 광학 시스템 광학: 1개의 소형 초점 렌즈, 1-2개의 초점 렌즈, 갈보 미러. 전체 광학 렌즈는 빔 확장, 초점 맞추기, 빔 편향 및 스캐닝 기능을 형성합니다.
확대 부분은 음의 렌즈, 즉 작은 초점 렌즈로, 빔 확대 및 이동 줌을 구현합니다. 초점 렌즈는 양의 렌즈 그룹으로 구성됩니다. 갈바노미터 시스템에서 갈보 거울은 거울입니다.
(1) 렌즈 설계 최적화 : 직경과 두께의 비율 최적화
(2) 렌즈 고손상 임계값 :>30J/cm2 10ns
(3) 초저흡수 코팅, 흡수율:<20ppm
(4) 검류계 두께 대 직경 비율 : 1 : 35
(5) 렌즈 표면 정확도: <= λ/5
대물렌즈 후
| 최대 입사 동공 수(mm) | 광학 1 직경(mm) | 광학 2 직경(mm) | 광학 3 직경(mm) | 스캔 필드 (mm) | 클리어 애퍼처 스캐너(mm) | 파장 |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
반사경
| 부품 설명 | 직경(mm) | 두께(mm) | 재료 | 코팅 |
| 실리콘 반사경 | 25.4 | 3 | 규소 | HR@10.6um,AOI: 45° |
| 실리콘 반사경 | 30 | 4 | 규소 | HR@10.6um,AOI: 45° |
| 섬유 반사기 | 25.4 | 6시 35분 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 섬유 반사기 | 30 | 5 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 섬유 반사기 | 50 | 10 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 반사경 | 25.4 | 6 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 반사경 | 25.4 | 6시 35분 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 반사경 | 30 | 5 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 반사경 | 50 | 10 | 용융 실리카 | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 25.4 | 6 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 25.4 | 6시 35분 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 25.4 | 10 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 반사경 | 30 | 5 | 용융 실리카 | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
갈보 미러
| 부품 설명 | 최대 입사 동공 수(mm) | 재료 | 코팅 | 파장 |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 규소 | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 용융 실리카 | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 용융 실리카 | HR@532nm | 532nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | 용융 실리카 | 355nm에서 HR | 355nm |
보호 렌즈
| 직경(mm) | 두께(mm) | 재료 | 코팅 |
| 75 | 3 | 아연셀레늄 | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | 아연셀레늄 | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | 아연셀레늄 | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | 아연셀레늄 | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | 아연셀레늄 | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | 아연셀레늄 | AR/AR@10.6um |
